一種差動光譜共焦傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110368052.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113108697A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113108697A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01B11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 董寧;曹桂平;王雪 申請（專利權(quán)）人 合肥埃科光電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 苗娟
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)燕子河路388號億智科技產(chǎn)業(yè)園1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種差動光譜共焦傳感器，包括寬譜光源經(jīng)過Y型光纖分成光強相等的兩束光，分別進入一個光纖環(huán)形器；出光口C1和出光口C2出射的光源分別經(jīng)過一個偏振片后，二者偏振方向相互垂直，再經(jīng)過半透半反棱鏡后合束照射到同一個色散鏡頭上；從被測物表面反射的光再經(jīng)過半透半反棱鏡后分別進入兩個光纖環(huán)形器的出光口，再分別從光纖環(huán)形器的出口輸出，輸出光分別由光譜儀接收。本發(fā)明利用兩路軸向相互錯位的光譜共聚焦傳感器同時測量，兩個傳感器共用一個色散鏡頭，將兩個光譜曲線相減求零點對應(yīng)的波長，以此計算被測表面位置信息，使用差動方法求零點對應(yīng)的波長，能夠消除被測物本身顏色導(dǎo)致光譜反射率對峰值計算的影響，提高測量精度。