一種低阻尼電容式加速度傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811294746.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109490575B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-03-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109490575B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-19 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01P15/125(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉超然;王益哨;董林璽;王高峰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江宏振智能芯片有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 周希良 |
| 地址 | 313000 浙江省湖州市德清縣舞陽(yáng)街道德清地理信息小鎮(zhèn)C區(qū)4幢201室（莫干山國(guó)家高新區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種低阻尼電容式加速度傳感器及其制備方法，所述低阻尼電容式加速度傳感器，由變間距式和變面積式兩種電容結(jié)構(gòu)組成。所述變間距式電容采用具有差分特性的梳齒狀電極板結(jié)構(gòu)，通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)方式減小電容可動(dòng)極板和固定極板的間距，克服了干法刻蝕工藝對(duì)高深寬比梳齒狀電極結(jié)構(gòu)制備的難題，有效提高了所制備加速度傳感器的初始電容；并在變間距式電容的固定極板上刻蝕倒三角形凹槽結(jié)構(gòu)，與已報(bào)道的矩形凹槽結(jié)構(gòu)相比，大大降低了空氣阻尼并且具有較好的保真度。將變間距式和變面積式電容結(jié)構(gòu)組合能夠有效提高傳感器的靈敏度、降低空氣阻尼。本發(fā)明中的傳感器初始電容大，阻尼小，噪聲低，靈敏度高，制作工藝簡(jiǎn)單，可以降低成本。?? |
