一種低阻尼電容式加速度傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811294746.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109490575A 公開（公告）日 2019-03-19
申請公布號 CN109490575A 申請公布日 2019-03-19
分類號 G01P15/125（2006.01）I; B81C1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉超然; 王益哨; 董林璽; 王高峰 申請（專利權）人 浙江宏振智能芯片有限公司
代理機構(gòu) 杭州千克知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 周希良
地址 313000 浙江省湖州市德清縣舞陽街道德清地理信息小鎮(zhèn)C區(qū)4幢201室（莫干山國家高新區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種低阻尼電容式加速度傳感器及其制備方法，所述低阻尼電容式加速度傳感器，由變間距式和變面積式兩種電容結(jié)構(gòu)組成。所述變間距式電容采用具有差分特性的梳齒狀電極板結(jié)構(gòu)，通過靜電驅(qū)動方式減小電容可動極板和固定極板的間距，克服了干法刻蝕工藝對高深寬比梳齒狀電極結(jié)構(gòu)制備的難題，有效提高了所制備加速度傳感器的初始電容；并在變間距式電容的固定極板上刻蝕倒三角形凹槽結(jié)構(gòu)，與已報道的矩形凹槽結(jié)構(gòu)相比，大大降低了空氣阻尼并且具有較好的保真度。將變間距式和變面積式電容結(jié)構(gòu)組合能夠有效提高傳感器的靈敏度、降低空氣阻尼。本發(fā)明中的傳感器初始電容大，阻尼小，噪聲低，靈敏度高，制作工藝簡單，可以降低成本。