一種ALD尾氣熱解組件以及抽氣裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120162212.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214437719U | 公開（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214437719U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-22 |
| 分類號(hào) | B01D53/00 | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 萬(wàn)軍;王輝;廖海濤;王斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫市邑晶半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 安磊 |
| 地址 | 214028 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)觀山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種ALD尾氣熱解組件以及抽氣裝置。其中的熱解組件包括殼體、加熱器、處理體以及固定體，加熱器設(shè)置在殼體的周面外側(cè)，處理體設(shè)置在殼體內(nèi)，處理體設(shè)置有貫通的處置孔，處置孔的兩端分別連接有輸入管和輸出管，輸入管以及輸出管分別穿出殼體的兩端，處置孔內(nèi)間隔設(shè)置有多個(gè)翅片，每個(gè)翅片的中部均設(shè)置有與輸入管以及輸出管連通的通孔，固定體設(shè)置在處理體以及殼體之間，固定體內(nèi)設(shè)置有安裝腔，安裝腔呈環(huán)狀，安裝腔同軸設(shè)置在處置孔的外側(cè)，安裝腔靠近處置孔的內(nèi)側(cè)壁上纏繞有加熱絲，加熱絲和加熱器連接。本實(shí)用新型可減少對(duì)環(huán)境的污染。 |
