基體裝載裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120163715.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214694361U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號(hào) CN214694361U 申請公布日 2021-11-12
分類號(hào) C23C16/458（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 萬軍;王輝;廖海濤;王斌 申請（專利權(quán)）人 無錫市邑晶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安磊
地址 214028 江蘇省無錫市新吳區(qū)觀山路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種基體裝載裝置。該裝載裝置的底板以及頂板均對(duì)應(yīng)設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)底板間隔固定設(shè)置在托盤上，頂板通過連接組件固定設(shè)置在對(duì)應(yīng)的底板的正上方，連接組件的兩個(gè)第一支撐桿相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)第一支撐桿的兩端分別可拆卸地連接在底板以及頂板上，兩個(gè)第二支撐桿相對(duì)設(shè)置，兩個(gè)第二支撐桿和兩個(gè)第一支撐桿呈方形布置，兩個(gè)第二支撐桿的兩端分別固定連接在底板以及頂板上，支撐塊設(shè)置有兩個(gè)，一個(gè)支撐塊設(shè)置在兩個(gè)第一支撐桿之間，另一個(gè)支撐塊設(shè)置在兩個(gè)第二支撐桿之間，每個(gè)第二支撐桿的內(nèi)側(cè)面上以及兩個(gè)支撐塊的側(cè)部均間隔設(shè)置有多個(gè)插槽。本實(shí)用新型可提高基體在轉(zhuǎn)移過程中的穩(wěn)定性，并可實(shí)現(xiàn)基體的快速轉(zhuǎn)移。