一種ALD基體轉(zhuǎn)運裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022904041.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214694359U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214694359U 申請公布日 2021-11-12
分類號 C23C16/455（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 萬軍;廖海濤;王斌;王輝 申請（專利權(quán)）人 無錫市邑晶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京眾達德權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉杰
地址 214028 江蘇省無錫市新吳區(qū)觀山路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種ALD基體轉(zhuǎn)運裝置，該轉(zhuǎn)運裝置的反應(yīng)器包括真空腔室以及反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室內(nèi)置于真空腔室內(nèi)，反應(yīng)腔室頂部敞口，升降機構(gòu)設(shè)置在反應(yīng)器上，升降機構(gòu)的輸出端沿豎向伸縮，升降機構(gòu)的輸出端上設(shè)置有封蓋，封蓋可操作地將反應(yīng)腔室頂部密封，輸送機構(gòu)用于將基體輸送至真空腔室內(nèi)，抓取單元設(shè)置在封蓋上，抓取單元用于抓取輸送至真空腔室內(nèi)的基體。本實用新型可將基體轉(zhuǎn)運至內(nèi)置于真空腔室的反應(yīng)腔室內(nèi)，自動機械化程度高，操作方便，具有很好的實用性。