一種用于太陽能電池片鈍化的晶體硅氧化處理設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120028733.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213936214U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213936214U 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王泉龍;李琪;孫珠珠;周國棟 申請（專利權）人 徐州中輝光伏科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 220000江蘇省徐州市沛縣經濟開發(fā)區(qū)昆明路南側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于太陽能電池片鈍化的晶體硅氧化處理設備，屬于太陽能電池片加工設備技術領域，一種用于太陽能電池片鈍化的晶體硅氧化處理設備，包括殼體，殼體的內部中心處設有進氣管，且進氣管頂端延伸至殼體外，殼體的一側設有高溫蒸汽發(fā)生器，高溫蒸汽發(fā)生器與進氣管之間連接有通氣管，通氣管上設置增壓泵，殼體的上表面固定有用于對通氣管進行定位的管道定位架，可以實現(xiàn)同時對多個單晶硅片進行氧化處理，有效提升單晶硅的氧化處理效率，且利用特殊的轉動噴氣結構，使高溫蒸汽分布更加均勻，并且高溫蒸汽噴出時呈傘形擴散，進一步加速高溫蒸汽的擴散，有效避免接觸不充分影響氧化質量的現(xiàn)象。