一種用于太陽能電池硅片背面拋光的刻蝕槽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120028722.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214099593U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214099593U 申請公布日 2021-08-31
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王泉龍;李琪;孫珠珠;周國棟 申請（專利權(quán)）人 徐州中輝光伏科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 220000江蘇省徐州市沛縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)昆明路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于太陽能電池硅片背面拋光的刻蝕槽，屬于太陽能電池片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，一種用于太陽能電池硅片背面拋光的刻蝕槽，包括刻蝕槽，刻蝕槽的內(nèi)側(cè)壁水平設(shè)有多根輸送輥，且多根輸送輥水平平行排布，多根輸送輥由帶輪驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動構(gòu)成用于輸送太陽能電池硅片的輸送系統(tǒng)，輸送輥上放置有多個待刻蝕太陽能電池硅片，輸送輥上套接有兩個限位輪，可以實現(xiàn)同時對太陽能電池硅片的背面和兩側(cè)側(cè)壁進行刻蝕，提高刻蝕效率，有效避免刻蝕液的浪費，可以在刻蝕時對太陽能電池硅片進行有效定位，避免太陽能電池硅片偏移影響刻蝕，同時可以滿足不同大小的太陽能電池硅片刻蝕使用，適應(yīng)性和實用性強。