具有微結(jié)構(gòu)的器件及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810404729.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110407157A 公開（公告）日 2019-11-05
申請公布號 CN110407157A 申請公布日 2019-11-05
分類號 B81C1/00（2006.01）I; B81B1/00（2006.01）I; B82Y40/00（2011.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 李守軍; 夏振 申請（專利權(quán)）人 張家港康得新裝備科技有限公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 韓建偉;霍文娟
地址 215634 江蘇省蘇州市張家港市金港鎮(zhèn)晨港路85號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N具有微結(jié)構(gòu)的器件及其制作方法。該制作方法包括：步驟S1，在基底上設(shè)置氣溶膠態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣態(tài)的光固化樹脂，形成光固化樹脂層；步驟S2，按照預(yù)定圖案對光固化樹脂進行固化；步驟S3，去除未固化的光固化樹脂，固化的光固化樹脂形成微結(jié)構(gòu)。該制作方法中，由于未固化的光固化樹脂為氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)，所以，無需進行刻蝕就能去除，過程簡單，且避免了采用刻蝕法產(chǎn)生對環(huán)境有害的污水的問題，且去除的未固化的氣態(tài)、懸浮的液滴態(tài)和/或氣溶膠態(tài)的光固化樹脂可以回收利用，產(chǎn)品利用率比較高。