一種抗干擾晶圓測試機外殼

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720056109.6 申請日 -
公開（公告）號 CN206431166U 公開（公告）日 2017-08-22
申請公布號 CN206431166U 申請公布日 2017-08-22
分類號 G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 付關(guān)軍 申請（專利權(quán)）人 深圳市德欣電器有限公司
代理機構(gòu) 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏忠暉
地址 518122 廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值例執(zhí)锷鐓^(qū)瑩展電子科技（深圳）有限公司園區(qū)3號廠房二樓（B3-b二樓）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種抗干擾晶圓測試機外殼，包括本體外殼和測試機，所述本體外殼的內(nèi)頂部固定連接于探針臺的上端，所述探針臺上安裝有探針卡，所述本體外殼內(nèi)底部固定連接于支柱的底端，所述支柱固定連接于測試臺的下表面，所述測試臺的上表面通過負(fù)壓吸附固定有轉(zhuǎn)接板，所述轉(zhuǎn)接板上電性連接有待測晶圓，所述探針臺通過屏蔽信號線電性連接于測試機，所述測試機電性連接有顯示模塊。本實用新型可同時對MOS產(chǎn)品進(jìn)行多工位檢測，檢測效率高；可以有效的對輸出電壓進(jìn)行穩(wěn)定，減小信號震蕩，有利于檢測結(jié)果的準(zhǔn)確。