一種半導(dǎo)體材料研磨液生產(chǎn)用反應(yīng)釜
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920239578.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210279124U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210279124U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-04-10 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01J19/18;B01J19/00 | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 朱斌;石志成;齊維達(dá);周少偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 石家莊優(yōu)士科電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 石家莊領(lǐng)皓專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 任軍培;李婷 |
| 地址 | 050000 河北省石家莊市高新區(qū)湘江道319號(hào)孵化器C座01-1908號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制品附屬裝置的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體材料研磨液生產(chǎn)用反應(yīng)釜；方便放出工作腔內(nèi)的全部物料，給使用者帶來(lái)便利；并且，其工作模式較為多樣，從而提高其使用可靠性；包括機(jī)箱、擋板、減速機(jī)、電加熱棒和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，機(jī)箱內(nèi)設(shè)置有工作腔，減速機(jī)位于驅(qū)動(dòng)電機(jī)的底部輸出端，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的底部輸出端設(shè)置有傳動(dòng)軸；還包括兩組第一伺服電機(jī)、兩組第二電機(jī)、兩組帶動(dòng)桿和導(dǎo)流板，工作腔的前側(cè)壁和后側(cè)壁分別設(shè)置有兩組收縮架，兩組收縮架的底端分別設(shè)置有兩組收縮槽，兩組帶動(dòng)桿的側(cè)壁上均設(shè)置有多組固定板；還包括水箱、連通軟管、高壓泵、噴灑器、液壓裝置、清潔電機(jī)和連接輥，高壓泵安裝在連通軟管上。 |
