一種顆粒形態(tài)可控的硅溶膠及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010264209.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111470510A 公開（公告）日 2020-07-31
申請公布號 CN111470510A 申請公布日 2020-07-31
分類號 C01B33/145;C01B33/146;C01B33/141;C09K3/14;B82Y40/00 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 朱斌;仵靖 申請（專利權(quán)）人 石家莊優(yōu)士科電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 河北國維致遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 墨偉
地址 050000 河北省石家莊市高新區(qū)湘江道319號孵化器C座01-1908號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體公開一種顆粒形態(tài)可控的硅溶膠及其制備方法。所述制備方法，包括如下步驟：配制若干組烷氧基硅烷質(zhì)量含量≥95％的酸性組合液和含有堿催化劑、高純水及有機(jī)溶劑的母液；將一組所述酸性組合液加入到所述母液中，得第一硅溶膠；至少一次地向所得第一硅溶膠中依次加入高純水、一組所述酸性組合液，得硅溶膠一次液；濃縮和溶劑置換，得到硅溶膠產(chǎn)品。本發(fā)明提供的制備方法通過調(diào)控烷氧基硅烷的酸性組合液的酸值，并調(diào)節(jié)加入的各組酸性組合液的酸值的變化，實現(xiàn)了硅溶膠顆粒形態(tài)的可控，得到了球形和非球形的硅溶膠，所得硅溶膠的一次固含>10％，金屬離子含量<1ppm。