一種膠體表面呈凸起狀的硅溶膠及其制備方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011189240.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112299425A 公開（公告）日 2021-02-02
申請公布號 CN112299425A 申請公布日 2021-02-02
分類號 C01B33/141(2006.01)I; 分類 無機化學;
發(fā)明人 朱斌;仵靖;趙麗曉 申請（專利權(quán)）人 石家莊優(yōu)士科電子科技有限公司
代理機構(gòu) 河北國維致遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 墨偉
地址 050000河北省石家莊市高新區(qū)湘江道319號孵化器C座01-1908號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體化學機械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體公開一種膠體表面呈凸起狀的硅溶膠及其制備方法和應用。所述膠體表面呈凸起狀的硅溶膠，包括液體介質(zhì)和膠體粒子，所述膠體粒子為狼牙棒狀、且表面帶凸起的二氧化硅膠體粒子，所述凸起的高度H為1～8nm；所述二氧化硅膠體粒子的氮氣吸附BET比表面積擬合粒徑為D1，經(jīng)透射電鏡表征所得的短軸粒徑為D2，經(jīng)動態(tài)光散射測得的粒徑為D3，1.2≤D2/D1≤1.8，且2.0≤D3/D1≤6.3。本發(fā)明提供的硅溶膠，具有較高的粗糙度和異形度，能夠有效減少與被研磨物的接觸時間，減少缺陷和劃痕的產(chǎn)生，用于拋光液中有助于提高拋光效率。??