一種結(jié)構(gòu)致密的硅溶膠及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010264210.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111470509A 公開(kāi)（公告）日 2020-07-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN111470509A 申請(qǐng)公布日 2020-07-31
分類(lèi)號(hào) C01B33/141;C01B33/146;B82Y30/00;C09K3/14 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 朱斌;仵靖 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 石家莊優(yōu)士科電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 河北國(guó)維致遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 墨偉
地址 050000 河北省石家莊市高新區(qū)湘江道319號(hào)孵化器C座01-1908號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)一種結(jié)構(gòu)致密的硅溶膠及其制備方法。所述制備方法，包括如下步驟：將烷氧基硅烷滴加到含有堿催化劑、水及有機(jī)溶劑的混合液中，得到第一硅溶膠；用純水稀釋?zhuān)訜嶂练序v，回流反應(yīng)，溶劑置換得到第二硅溶膠；滴加烷氧基硅烷，得到第三硅溶膠；保溫反應(yīng)，濃縮，溶劑置換得到硅溶膠。本發(fā)明提供的結(jié)構(gòu)致密的硅溶膠的制備方法，生產(chǎn)效率高，所得的硅溶膠二氧化硅一次固含為10％以上，金屬離子含量<1ppm，且二氧化硅顆粒真密度ρ>2.0g/cm3，具有良好的致密度。