硅片分片機(jī)的升降機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220667829.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202948963U 公開(kāi)（公告）日 2013-05-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN202948963U 申請(qǐng)公布日 2013-05-22
分類(lèi)號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧森景;王相軍;周道全 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海釜川超聲波科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201808 上海市嘉定區(qū)徐行鎮(zhèn)新建一路2255號(hào)1幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種硅片分片機(jī)的升降機(jī)構(gòu)，由底座、機(jī)架、電機(jī)、滑軌、滑塊、絲桿、連接板、光軸和硅片托架連接構(gòu)成。電機(jī)豎置固定安裝于底座一端的中心，其轉(zhuǎn)軸穿過(guò)底座的通孔后露出底座的背面，機(jī)架豎置固定安裝在底座的另一端，機(jī)架的兩邊設(shè)有一對(duì)滑軌及與之配套的滑塊，兩邊的滑塊連接連接板，連接板的外面連接光軸的一端，光軸的另一端活動(dòng)連接硅片托架，該硅片托架能夠作360°水平旋轉(zhuǎn)，連接板里面設(shè)有絲母，機(jī)架上下兩端各連接一絲桿座，兩根絲桿座設(shè)有同軸心的軸承，絲桿的兩端分別穿過(guò)并連接軸孔，且與絲母配合，其中絲桿下端穿過(guò)底座的通孔后露出底座的背面，并通過(guò)同步帶連接電機(jī)的轉(zhuǎn)軸。本實(shí)用新型具有提高工作效率、產(chǎn)品質(zhì)量和降低成本的優(yōu)點(diǎn)。