一種基于柔性鉸鏈的單自由度大行程納米位移定位平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711474293.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108198588B 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN108198588B 申請公布日 2021-05-11
分類號 G12B5/00 分類 儀器的零部件;
發(fā)明人 須穎;王慧峰 申請（專利權(quán)）人 三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 天津協(xié)眾信創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 房海萍
地址 301700 天津市武清區(qū)福源道北側(cè)創(chuàng)業(yè)總部基地C21號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于柔性鉸鏈的單自由度大行程納米位移定位平臺，包括平臺主體，所述平臺主體上有四條柔性鉸鏈，并通過四條鉸鏈將平臺主體分為A區(qū)、B區(qū)、C區(qū)、D區(qū)四部分，所述A區(qū)為移動區(qū)，所述B區(qū)和C區(qū)為受力變形區(qū)，所述D區(qū)為固定區(qū)；所平臺主體兩端設(shè)有左盲孔和右盲孔，所述左盲孔的底部為光滑圓圓錐面，其內(nèi)部安裝有彈簧預(yù)緊組件，所述右盲孔的底部也為光滑圓圓錐面，其內(nèi)部安裝有壓電陶瓷組件，所述彈簧預(yù)緊組件和壓電陶瓷組件構(gòu)成放大機構(gòu)。本發(fā)明實現(xiàn)了小的豎向平臺尺寸情況下比較大的豎向位移，可以滿足空間較小但是要求豎向行程較大場合的需求。