一種晶圓檢測(cè)高精度氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111374217.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114111691A | 公開（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114111691A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | G01B21/24（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I;G01R1/02（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉浩;須穎;賈靜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市爾遜專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 周盈如 |
| 地址 | 301700天津市武清區(qū)武清開發(fā)區(qū)福源道北側(cè)創(chuàng)業(yè)總部基地C21號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種晶圓檢測(cè)高精度氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及方法，包括：基座；橫梁，安裝在基座上；滑臺(tái)，可用于承載晶圓；直線電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)沿橫梁滑動(dòng)；傳感器，具有至少三個(gè)，可用于檢測(cè)晶圓的垂直直線度；氣浮軸承，包括第一氣浮軸承、第二氣浮軸承以及第三氣浮軸承，用于滑臺(tái)的懸?。谎a(bǔ)償裝置，基于傳感器檢測(cè)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，對(duì)晶圓的垂直直線度進(jìn)行補(bǔ)償。本發(fā)明可以消除基座因機(jī)械加工精度固有因素導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)垂直直線度不高、無(wú)法對(duì)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的垂直直線度進(jìn)行檢測(cè)和補(bǔ)償?shù)募夹g(shù)問(wèn)題，極大地提高了晶圓運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的垂直直線度。 |
