一種用于碳化硅晶片退火的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022301952.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214032757U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214032757U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B33/02（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 陳秀芳;張木青;徐現(xiàn)剛;王垚浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 511458廣東省廣州市南沙區(qū)珠江街南江二路7號(hào)自編2棟2層201室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N用于碳化硅晶片退火的裝置，通過(guò)在坩堝體內(nèi)設(shè)有一層或多層用于放置碳化硅晶片的夾層板，并且設(shè)置各夾層板沿坩堝體的軸向方向排布，相鄰的夾層板之間具有一定的間距。這樣，在碳化硅晶片退火時(shí)，在各夾層板上分別摞若干片碳化硅晶片，與將所有的碳化硅晶片直接摞在一起相比，可以有效防止碳化硅晶片的晶片重量增加，導(dǎo)致晶片之間壓得過(guò)緊，氧化后難分離的問(wèn)題。同時(shí)，在各夾層板上開(kāi)設(shè)通孔，可以保證空氣的流通，進(jìn)而可以保證各晶片之間的空氣流通，有助于減少晶片黏連。因此，本申請(qǐng)實(shí)施例可以解決碳化硅晶片退火后晶片不好分離的問(wèn)題，可以有效降低裂片、破片率，還可以在坩堝內(nèi)放置更多的晶片，提高退火效率并降低生產(chǎn)成本。 |
