無應(yīng)力碳化硅籽晶固定裝置及坩堝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023301675.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214193519U 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214193519U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) C30B29/36;C30B23/02 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 胡小波;徐南;張木青;楊祥龍;于國建;陳秀芳;王垚浩;徐現(xiàn)剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 511400 廣東省廣州市南沙區(qū)珠江街南江二路7號(hào)自編2棟2層201室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N無應(yīng)力碳化硅籽晶固定裝置及坩堝，該碳化硅籽晶固定裝置包括籽晶托和籽晶蓋。籽晶托設(shè)計(jì)為中部掏空的環(huán)形結(jié)構(gòu)，并且沿其中軸線方向依次包括籽晶支撐部、籽晶容納部、籽晶蓋容納部。同時(shí)，設(shè)置籽晶支撐部的內(nèi)周形狀與籽晶的外周形狀相同，在尺寸上，籽晶支撐部的內(nèi)徑小于籽晶的外徑，籽晶容納部的內(nèi)徑大于籽晶的外徑，籽晶容納部的高度大于籽晶的厚度。利用上述結(jié)構(gòu)和尺寸設(shè)計(jì)，將籽晶裝入籽晶托，并將籽晶蓋裝入籽晶托后，僅籽晶的邊緣依靠自身的重力與籽晶支撐部相接觸，進(jìn)而在單晶生長過程中，籽晶與籽晶固定裝置之間不存在熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致的應(yīng)力問題，可以消除籽晶受到的外加機(jī)械應(yīng)力，有利于高質(zhì)量SiC單晶生長。