一種鋰離子電池生產用硅片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021327619.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213051821U 公開（公告）日 2021-04-27
申請公布號 CN213051821U 申請公布日 2021-04-27
分類號 B08B3/12;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 分類 清潔;
發(fā)明人 張文博 申請（專利權）人 湖北宇電能源科技股份有限公司
代理機構 武漢智嘉聯(lián)合知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 熊軍
地址 431700 湖北省天門市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)發(fā)展大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種鋰離子電池生產用硅片清洗裝置，包括殼體，所述殼體的左側設有預清洗池，且預清洗池的底部設有放置板，所述放置板上放有花籃，且放置板的底部設有伸縮桿，所述預清洗池的右側為清洗池，且清洗池的底部設有超聲波發(fā)射器，所述清洗池的右側壁上設有液體扇，且液體扇的轉軸與電機的輸出軸連接，所述液體扇的上方設有電磁感應線圈，所述殼體的右端外壁上設有控制臺，且控制臺的下方設有多個指示燈，所述殼體的頂部設有烘干機。本實用新型通過將預清洗池、清洗池、干燥裝置設置在同一個裝置中，減少了人工轉移的工作量，同時也避免了硅片暴露在空氣中。