光刻膠生產(chǎn)廢氣有害氣體吸收裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921983504.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211487132U | 公開（公告）日 | 2020-09-15 |
| 申請公布號 | CN211487132U | 申請公布日 | 2020-09-15 |
| 分類號 | B01D53/40(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王鴻巖;孫浩 | 申請（專利權(quán)）人 | 遼寧靖帆新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽鼎恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙月娜 |
| 地址 | 111000遼寧省遼陽市燈塔市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會辦公樓113室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種光刻膠生產(chǎn)廢氣有害氣體吸收裝置，其技術(shù)要點(diǎn)是：由依次連通的冷凝分離單元、水噴淋單元、堿液噴淋單元和活性炭吸附過濾單元組成，冷凝分離單元包括與NAS?5脫水罐頂部出氣管線連通的分離罐、設(shè)于分離罐內(nèi)上部的冷凝液循環(huán)管路、設(shè)于分離罐內(nèi)下部的熱利用循環(huán)管路、與分離罐底部連通的積液罐，熱利用循環(huán)管路與NAS?5脫水罐外部加熱水管連通，積液罐的上部設(shè)有與NAS?5脫水罐頂部出氣管線連通的回液管路，回液管路上設(shè)有單向閥，分離罐對應(yīng)熱利用循環(huán)管路下方的位置設(shè)有進(jìn)氣口。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)更為合理、使用節(jié)能環(huán)保，在對有害氣體進(jìn)行有效祛除的同時，充分利用尾氣中的熱量，并有效減少NAS?5流失。?? |
