光刻膠生產(chǎn)加工用冷卻降溫裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201922026848.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN211487649U | 公開(公告)日 | 2020-09-15 |
申請公布號 | CN211487649U | 申請公布日 | 2020-09-15 |
分類號 | B01J19/18(2006.01)I | 分類 | - |
發(fā)明人 | 王鴻巖;孫浩 | 申請(專利權(quán))人 | 遼寧靖帆新材料有限公司 |
代理機構(gòu) | 沈陽鼎恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 趙月娜 |
地址 | 111000遼寧省遼陽市燈塔市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會辦公樓113室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型涉及一種光刻膠生產(chǎn)加工用冷卻降溫裝置,包括設(shè)于NAS?5反應(yīng)釜外側(cè)的冷卻水套、冷卻水緩存箱、循環(huán)水泵Ⅰ、回水管線,其技術(shù)要點是:還包括設(shè)于NAS?5脫水罐的尾氣收集罐中的降溫盤管,循環(huán)水泵Ⅰ和冷卻水套之間連接有換熱器且換熱器的管程入口與冷卻水套的出水口連通,換熱器的管程出口與循環(huán)水泵Ⅰ的進水口連通,降溫盤管的進水口通過管線與換熱器的殼程出口連通,降溫盤管的出水口通過管線連接有循環(huán)水泵Ⅱ且循環(huán)水泵Ⅱ的出水口與換熱器的殼程入口連通。其解決了現(xiàn)有NAS?5反應(yīng)釜冷卻降溫裝置冷量散失大、造成冷量浪費問題,結(jié)構(gòu)配置合理,使用安全可靠。?? |
