電容式相對(duì)濕度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN03131858.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN1455250A 公開(kāi)（公告）日 2003-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN1455250A 申請(qǐng)公布日 2003-11-12
分類(lèi)號(hào) G01N27/22 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 顧磊;黃慶安;秦明;張中平 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫市杰德感知科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 東南大學(xué);無(wú)錫市杰德感知科技有限公司
地址 210096江蘇省南京市四牌樓2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明是一種用于濕度信號(hào)傳感的電容式相對(duì)濕度傳感器，由襯底，氧化層、電容電極組成，氧化層設(shè)在襯底上，電容電極設(shè)在氧化層上方，在電容電極上設(shè)有電極引線，該電容電極為其材質(zhì)適于標(biāo)準(zhǔn)CMOS加工工藝的電極，在電容電極上設(shè)有鈍化層。本發(fā)明采用鋁電極梳狀并聯(lián)結(jié)構(gòu)可以增加敏感電容值，將襯底可靠接地消除了外界的干擾，提高濕度傳感器的精度。淀積鈍化層能夠有效防止環(huán)境中的水汽尤其是聚酰亞胺吸水后，聚酰亞胺中的水汽腐蝕鋁電極，提高可靠性。利用梳狀并聯(lián)多晶硅作為加熱電路，使?jié)穸葌鞲衅鞯拿摳綍r(shí)間更短，同樣提高了可靠性。利用聚酰亞胺作為感濕介質(zhì)，靈敏度高，線性度、滯回特性好，長(zhǎng)期可靠等優(yōu)點(diǎn)。