多層梁結(jié)構(gòu)的電容式微機械溫度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710024494.7 申請日 -
公開（公告）號 CN101071084B 公開（公告）日 2010-11-24
申請公布號 CN101071084B 申請公布日 2010-11-24
分類號 G01K7/34(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃慶安;陸婷婷;秦明 申請（專利權(quán)）人 無錫市杰德感知科技有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 東南大學;無錫市杰德感知科技有限公司
地址 210096 江蘇省南京市四牌樓2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 多層梁結(jié)構(gòu)電容式溫度傳感器，由電容極板和連接電容極板的引線組成，采用微機械加工方法制備，該傳感器由上電容極板(1)和下電容極板(2)及連接電容極板的第一引線(3)和第第二引線(4)組成，上電容極板(1)和下電容極板(2)為導(dǎo)電膜，在該兩導(dǎo)電膜之間由絕緣介質(zhì)膜(5)填充，第一引線(3)和第二引線(4)分別對應(yīng)與上電容極板(1)和下電容極板(2)相接，下電容極板(2)設(shè)在襯底(6)上，在下電容極板(2)下設(shè)有空腔。上電容極板(1)的導(dǎo)電膜為金屬膜，下電容極板(2)的導(dǎo)電膜為P+層，絕緣介質(zhì)膜(5)為二氧化硅。在溫度變化時，多層梁的各層材料因熱膨脹系數(shù)失配而產(chǎn)生熱應(yīng)力，使多層梁發(fā)生彎曲形變引起傳感器電容發(fā)生變化。