一種體聲波諧振器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911166647.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111030628A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN111030628A 申請公布日 2020-04-17
分類號 H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 于洪宇;王亮;張一;汪青;唐楚瀅 申請（專利權）人 珠海鎵未來科技有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 南方科技大學
地址 519000 廣東省珠海市橫琴新區(qū)環(huán)島東路3000號橫琴國際商務中心901-9024室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種體聲波諧振器的制備方法，該方法包括：提供壓電襯底，在壓電襯底上進行離子注入形成具有缺陷層連接的第一襯底和第二襯底；在第一襯底上形成金屬電極，并圖形化金屬電極形成底部電極；將具有底部電極的壓電襯底一表面鍵合到帶有預置空腔的支撐襯底上，底部電極均位于空腔內(nèi)；剝離壓電襯底的第二襯底；減薄第一襯底至所需厚度；于遠離底部電極的第一襯底一面上形成頂部電極?？朔顺Ｒ?guī)工藝中在形成底部空腔過程中對諧振器結構產(chǎn)生不良影響的問題和常規(guī)工藝中金屬與支撐襯底鍵合困難的問題，降低工藝容錯度，減少工藝步驟和工藝成本，保證器件工作特性。