一種半導(dǎo)體有源與無(wú)源集成耦合方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110169785.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112952550A 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112952550A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) H01S5/02326;H01S5/02375 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳伯莊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 桂林雷光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京錦信誠(chéng)泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 倪青華
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市七星區(qū)高新區(qū)信息產(chǎn)業(yè)園D-08地塊#生產(chǎn)車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體有源與無(wú)源集成耦合方法，將激光二極管（1）與硅襯底（4）上的無(wú)源波導(dǎo)（7）進(jìn)行高精度對(duì)齊耦合，包括：在激光二極管（1）的表面上形成多個(gè)導(dǎo)電材料柱（2）；將硅襯底（4）與激光二極管（1）的表面匹配的一側(cè)形成多個(gè)匹配支柱（3）或蝕刻硅釘；導(dǎo)電材料柱（2）及匹配支柱（3）沿相反方向移動(dòng)動(dòng)態(tài)組裝，將導(dǎo)電材料柱（2）壓到匹配支柱（3）或蝕刻硅釘上；對(duì)硅襯底（4）上的匹配支柱（3）形成的P觸點(diǎn)和N觸點(diǎn)施加電流，為激光二極管（1）通電；激光二極管的P觸點(diǎn)（6）和N觸點(diǎn)（5）一旦達(dá)到所需位置，激光二極管（1）將固定停留在該位置上，從而完成激光二極管（1）與無(wú)源波導(dǎo)（7）的有源集成耦合。