一種去應(yīng)力腐蝕機(jī)的芯片旋轉(zhuǎn)裝置及其設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110231609.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113035751A 公開（公告）日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN113035751A 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 秦月明;張慧嫻;趙肅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 桂林雷光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 桂林文必達(dá)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張學(xué)平
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市七星區(qū)高新區(qū)信息產(chǎn)業(yè)園D-08地塊1#生產(chǎn)車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種去應(yīng)力腐蝕機(jī)的芯片旋轉(zhuǎn)裝置及其設(shè)備，支撐組件的底座和多個(gè)花籃通過滑道滑動(dòng)連接，支架和側(cè)板設(shè)置在底座的兩側(cè)，轉(zhuǎn)動(dòng)組件的氣缸殼設(shè)置在側(cè)板上，氣缸殼內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有滑動(dòng)板，支撐臺(tái)通過連接板和滑動(dòng)板連接，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)設(shè)置在支撐臺(tái)桑，轉(zhuǎn)桿通過傳動(dòng)器和轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)連接，第一氣泵和第二氣泵與氣缸殼連通，密封板設(shè)置在連接桿上?；ɑ@設(shè)置在滑道上，啟動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)，傳動(dòng)器帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)從而可以帶動(dòng)芯片轉(zhuǎn)動(dòng)而進(jìn)行腐蝕，然后交叉啟動(dòng)第一氣缸和第二氣缸帶動(dòng)支撐臺(tái)上下移動(dòng)，帶動(dòng)芯片在花籃中上下移動(dòng)而進(jìn)行更加充分的腐蝕和清洗，使得加工可以更加均勻，解決現(xiàn)有裝置因?yàn)橥男D(zhuǎn)會(huì)使中間部分加工不夠均勻的問題。