一種芯片生產(chǎn)制造用冷卻裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023290751.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213936131U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213936131U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-10 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 覃小秋;歐鵬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 桂林雷光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 桂林文必達(dá)專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 張學(xué)平 |
| 地址 | 541004廣西壯族自治區(qū)桂林市七星區(qū)高新區(qū)信息產(chǎn)業(yè)園D-08地塊1#生產(chǎn)車(chē)間 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種芯片生產(chǎn)制造用冷卻裝置，包括底板和支撐板，兩個(gè)所述支撐板分別固定設(shè)置于底板的上表面兩側(cè)，兩個(gè)所述支撐板的頂端固定設(shè)置有頂板，所述頂板的下方設(shè)置有往復(fù)絲桿，所述往復(fù)絲桿的兩端均通過(guò)第一滾動(dòng)軸承與對(duì)應(yīng)的支撐板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述往復(fù)絲桿的桿壁螺紋套接有滑塊，所述滑塊的下表面固定設(shè)置有風(fēng)機(jī)，右側(cè)所述支撐板的右側(cè)設(shè)置有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端與往復(fù)絲桿的右端固定連接，兩個(gè)所述支撐板中部之間設(shè)置有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿的兩端均通過(guò)第二滾動(dòng)軸承與對(duì)應(yīng)的支撐板轉(zhuǎn)動(dòng)連接。本實(shí)用新型能夠不間斷的對(duì)芯片進(jìn)行冷卻工作，大大的減少了停機(jī)時(shí)間，提高工作效率。 |
