一種芯片生產(chǎn)制造用冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023290751.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213936131U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213936131U 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 覃小秋;歐鵬 申請（專利權(quán)）人 桂林雷光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 桂林文必達(dá)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 張學(xué)平
地址 541004廣西壯族自治區(qū)桂林市七星區(qū)高新區(qū)信息產(chǎn)業(yè)園D-08地塊1#生產(chǎn)車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種芯片生產(chǎn)制造用冷卻裝置，包括底板和支撐板，兩個所述支撐板分別固定設(shè)置于底板的上表面兩側(cè)，兩個所述支撐板的頂端固定設(shè)置有頂板，所述頂板的下方設(shè)置有往復(fù)絲桿，所述往復(fù)絲桿的兩端均通過第一滾動軸承與對應(yīng)的支撐板轉(zhuǎn)動連接，所述往復(fù)絲桿的桿壁螺紋套接有滑塊，所述滑塊的下表面固定設(shè)置有風(fēng)機(jī)，右側(cè)所述支撐板的右側(cè)設(shè)置有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端與往復(fù)絲桿的右端固定連接，兩個所述支撐板中部之間設(shè)置有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿的兩端均通過第二滾動軸承與對應(yīng)的支撐板轉(zhuǎn)動連接。本實(shí)用新型能夠不間斷的對芯片進(jìn)行冷卻工作，大大的減少了停機(jī)時間，提高工作效率。