一種外延設(shè)備的氣體供應方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110231567.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113026098A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113026098A 申請公布日 2021-06-25
分類號 C30B25/14 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 廖秋林;秦月明;趙肅 申請（專利權(quán)）人 桂林雷光科技有限公司
代理機構(gòu) 桂林文必達專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 張學平
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市七星區(qū)高新區(qū)信息產(chǎn)業(yè)園D-08地塊1#生產(chǎn)車間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種外延設(shè)備的氣體供應方法及裝置，支撐組件的殼體、底座和控制盒連接，第一加熱組件的多個第一安裝板設(shè)置在殼體的第一安裝槽內(nèi)，第一支撐板和多個第一安裝板連接，多個第一加熱電阻分別設(shè)置在多個第一安裝板內(nèi)，第二加熱組件的多個第二安裝板設(shè)置在殼體的第二安裝槽內(nèi)，第二支撐板和多個第二安裝板連接，多個第二加熱電阻分別設(shè)置在多個第二安裝板內(nèi)。交叉設(shè)置的第一安裝板和第二安裝板可以形成氣體流通的彎曲回路，極大地增加了加熱器件和氣體的接觸面積，從而可以更加高效地進行加熱，通過輸出組件可以將氣體排出，從而可以方便地對反應氣進行加熱，提高加熱效率。