含四苯基噻酚結(jié)構(gòu)的分子玻璃光刻膠的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710617151.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109305955A 公開（公告）日 2019-02-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN109305955A 申請(qǐng)公布日 2019-02-05
分類號(hào) C07D333/16;G03F7/004 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 楊國(guó)強(qiáng);王亞飛;王亮乾;王雙青;郭旭東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳前海廣宇天驥科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知元同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉元霞
地址 101400 北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雁棲大街53號(hào)院13號(hào)樓二層203-11室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種含四苯基噻酚結(jié)構(gòu)的分子玻璃光刻膠的制備方法。其在提高產(chǎn)率的同時(shí)簡(jiǎn)化了后續(xù)處理過程，使得工業(yè)化生產(chǎn)成為可能。具體是通過選用合適溶劑與再沉淀方法純化產(chǎn)品來代替硅膠色譜柱純化產(chǎn)物，降低了后處理的復(fù)雜性，縮短了后處理時(shí)間。并且在保持純度的情況下，使化合物(III)、(V)的產(chǎn)率得到了極大的提升：化合物(III)的產(chǎn)率提高了50％以上，化合物(V)的產(chǎn)率提高了25％以上。