以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶為核的分子玻璃光刻膠

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210070713.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103304521B 公開（公告）日 2015-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN103304521B 申請(qǐng)公布日 2015-04-15
分類號(hào) C07D307/42(2006.01)I;C07D207/333(2006.01)I;C07D333/16(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 楊國強(qiáng);陳力;許箭;王雙青;李沙瑜 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳前海廣宇天驥科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中創(chuàng)陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 尹振啟
地址 100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北一街2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了通式(I)或(II)的以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶為核的分子玻璃，以及以上述分子玻璃作為基體成分的光刻膠組合物，其包括：選自通式(I)或(II)中的一種或多種的基體成分、光致產(chǎn)酸劑、有機(jī)堿和有機(jī)溶劑。本發(fā)明的光刻膠組合物為化學(xué)放大的正性光刻膠，適合在極紫外線(13.5nm)、電子束下曝光，在堿性顯影液中顯影。由本發(fā)明的光刻膠組合物制備的薄膜具有良好的分辨率、光敏性、粘附性，且易于保存。