基于硅基微環(huán)的游標(biāo)效應(yīng)光纖干涉?zhèn)鞲衅鹘庹{(diào)裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110267612.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113029218B 公開(kāi)(公告)日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113029218B 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) G01D5/353(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 王若暉;李敏軒;喬學(xué)光 申請(qǐng)(專利權(quán))人 西北大學(xué)
代理機(jī)構(gòu) 西安永生專利代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 710069陜西省西安市太白北路229號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于硅基微環(huán)的游標(biāo)效應(yīng)光纖干涉?zhèn)鞲衅鹘庹{(diào)裝置及方法,寬帶光源出射的激光通過(guò)光纖進(jìn)入環(huán)形器,環(huán)形器與干涉型光纖傳感器和光纖放大器的輸入端通過(guò)光纖相連,光纖放大器的輸出端通過(guò)光柵耦合器與硅光芯片相連,所述的硅光芯片為SOI基底上設(shè)置有結(jié)構(gòu)相同的第一直波導(dǎo)和第二直波導(dǎo),第一直波導(dǎo)和第二直波導(dǎo)之間設(shè)置有環(huán)形波導(dǎo),環(huán)形波導(dǎo)與第一直波導(dǎo)和第二直波導(dǎo)之間留有間隙,環(huán)形波導(dǎo)上設(shè)置有加熱電極。本發(fā)明采用硅光芯片對(duì)光纖干涉?zhèn)鞲衅鹘庹{(diào),使解調(diào)裝置微型化,光纖干涉?zhèn)鞲衅鞣瓷涞墓庑盘?hào)進(jìn)入硅光芯片與硅光芯片的光譜進(jìn)行疊加產(chǎn)生游標(biāo)效應(yīng),提高了解調(diào)靈敏度,增大了測(cè)量范圍。