自動化硅片輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911133108.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110718494A 公開（公告）日 2020-01-21
申請公布號 CN110718494A 申請公布日 2020-01-21
分類號 H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張杰 申請（專利權(quán)）人 安徽英發(fā)睿能科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京細(xì)軟智谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 安徽英發(fā)睿能科技股份有限公司
地址 239300 安徽省滁州市天長市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)經(jīng)六路、緯三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及硅片鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種自動化硅片輸送裝置，包括用于裝載硅片并進(jìn)行背面鍍膜的背膜石墨舟；用于裝載硅片并進(jìn)行正面鍍膜的正膜石墨舟；位于背膜石墨舟和正膜石墨舟之間的中轉(zhuǎn)變節(jié)距，中轉(zhuǎn)變節(jié)距上設(shè)置有多個用于承載硅片的承載位；用于將背膜石墨舟中的硅片裝載到承載位的第一機(jī)械臂和用于將承載位的硅片裝載到正膜石墨舟的第二機(jī)械臂，第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂的活動端均設(shè)置有用于吸附硅片的裝載吸盤。如此設(shè)置，通過第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂轉(zhuǎn)運(yùn)硅片，避免了背膜工藝到正膜工藝的人工搬運(yùn)流程，有利于節(jié)省人力和資源；而且硅片的裝卸只完成一次，減少對硅片造成的損傷。