一種PECVD石墨舟的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110292928.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113118158A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113118158A 申請公布日 2021-07-16
分類號 B08B9/08（2006.01）I;B08B9/093（2006.01）I;F26B9/06（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張敏;馮曉軍;吳群峰 申請（專利權(quán)）人 安徽英發(fā)睿能科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽韜越知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 范雅茜
地址 239300安徽省滁州市天長市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)經(jīng)六路、緯三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及石墨舟領(lǐng)域，具體地說，涉及一種PECVD石墨舟的清洗方法。其包括以下步驟：將石墨舟進(jìn)行拆卸，將拆卸的部件放入清洗槽中，向清洗槽中倒入純水和清洗液，然后放入石墨舟，加入去離子液，用于浸泡石墨舟，并進(jìn)行鼓泡，將清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加熱烘干，將石墨舟進(jìn)行組合安裝，該P(yáng)ECVD石墨舟的清洗方法中通過將石墨舟整體進(jìn)行拆卸后再進(jìn)行石墨舟的清洗，有利于改善石墨舟的清洗效果，進(jìn)而提高石墨舟的制程良品率。