一種裸芯片表面缺陷智能檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120121632.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214794502U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN214794502U 申請公布日 2021-11-19
分類號 G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 杜林;圣冬冬;王海濤;樓建設;游君;劉港港 申請（專利權(quán)）人 上海精密計量測試研究所
代理機構(gòu) 上海航天局專利中心 代理人 余岢
地址 201109上海市閔行區(qū)元江路3888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種裸芯片表面缺陷智能檢測系統(tǒng)，包括相機、鏡頭、升降支架、檢測工作臺和計算機；裸芯片放置在檢測工作臺上，檢測工作臺通過導軌進行前后和左右移動；鏡頭安裝在相機前端，用于對采集的裸芯片圖像進行放大，鏡頭位于檢測工作臺正上方；相機安裝在升降支架上，通過升降支架進行上下移動，調(diào)整相機與裸芯片之間的距離；計算機與相機通過網(wǎng)線連接，將相機采集的裸芯片圖像進行處理，并通過檢測模型對裸芯片圖像進行識別，判斷裸芯片是否存在缺陷，當裸芯片存在缺陷時，計算機通過連接的報警器進行報警。本實用新型有效避免了漏檢情況的發(fā)生，大幅提升了缺陷識別檢測效率，降低了人工勞動強度。