一種裸芯片表面缺陷智能檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120121632.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214794502U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號(hào) CN214794502U 申請公布日 2021-11-19
分類號(hào) G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 杜林;圣冬冬;王海濤;樓建設(shè);游君;劉港港 申請（專利權(quán)）人 上海精密計(jì)量測試研究所
代理機(jī)構(gòu) 上海航天局專利中心 代理人 余岢
地址 201109上海市閔行區(qū)元江路3888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種裸芯片表面缺陷智能檢測系統(tǒng)，包括相機(jī)、鏡頭、升降支架、檢測工作臺(tái)和計(jì)算機(jī)；裸芯片放置在檢測工作臺(tái)上，檢測工作臺(tái)通過導(dǎo)軌進(jìn)行前后和左右移動(dòng)；鏡頭安裝在相機(jī)前端，用于對采集的裸芯片圖像進(jìn)行放大，鏡頭位于檢測工作臺(tái)正上方；相機(jī)安裝在升降支架上，通過升降支架進(jìn)行上下移動(dòng)，調(diào)整相機(jī)與裸芯片之間的距離；計(jì)算機(jī)與相機(jī)通過網(wǎng)線連接，將相機(jī)采集的裸芯片圖像進(jìn)行處理，并通過檢測模型對裸芯片圖像進(jìn)行識(shí)別，判斷裸芯片是否存在缺陷，當(dāng)裸芯片存在缺陷時(shí)，計(jì)算機(jī)通過連接的報(bào)警器進(jìn)行報(bào)警。本實(shí)用新型有效避免了漏檢情況的發(fā)生，大幅提升了缺陷識(shí)別檢測效率，降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度。