氮化鎵微波功率器件結(jié)溫測定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910613866.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110333432B 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN110333432B 申請公布日 2021-08-31
分類號 G01R31/26;G06F30/23 分類 測量；測試;
發(fā)明人 杜林;孔澤斌;樓建設;馮琦;李曉彤;狄陸祺 申請（專利權(quán)）人 上海精密計量測試研究所
代理機構(gòu) 上海航天局專利中心 代理人 余岢
地址 201109 上海市閔行區(qū)元江路3888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種氮化鎵微波功率器件結(jié)溫測定方法，包括如下步驟：S1、計算氮化鎵微波功率管的管芯熱分布；S2、器件襯底和管殼溫度校準；S3、利用微區(qū)拉曼法進行氮化鎵層溫度測量；S4、利用熱反射成像法進行柵極金屬溫度測量；S5、利用有限元分析方法分層計算氮化鎵層的最高結(jié)溫和三維溫度分布。本發(fā)明可以獲取氮化鎵微波功率器件的工作狀態(tài)下的最高結(jié)溫位置點、溝道溫度分布和三維溫度分布。通過仿真和實驗測量數(shù)據(jù)結(jié)合的方法可以校驗測試的數(shù)據(jù)有效性，最大可能避免因意外因素產(chǎn)生的測量誤差和真實結(jié)溫外推誤差，采用上下邊界條件來計算擬合氮化鎵器件的結(jié)溫，具有更準確的結(jié)溫的有益效果。