一種全α相鉭涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110517827.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113235060A 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN113235060A 申請公布日 2021-08-10
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳漢賓;李忠盛;吳護林;叢大龍;黃安畏;楊九州;陳大軍;李立;張昭林;付揚帆 申請（專利權(quán)）人 中國兵器裝備集團第五九研究所有限公司
代理機構(gòu) 重慶晶智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李靖
地址 400039重慶市九龍坡區(qū)渝州路33號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種全α相鉭涂層的制備方法，以鉭作為濺射靶材，基體材料加熱后，在氬氣形成的0.6~0.95MPa工作壓力下，用霍爾電源對基體材料表面進(jìn)行轟擊，然后調(diào)節(jié)基體材料正對靶材，加入直流濺射電流14~25A，待靶材起弧穩(wěn)定后，在基體表面加入直流偏壓40~80V，偏電流為60~90A。通過本發(fā)明方法，制備出全α相鉭涂層，該涂層具有優(yōu)異的耐腐蝕性能，與基體材料結(jié)合強度高、內(nèi)應(yīng)力低，可大幅度提高涂層的使用壽命，為工件提供長期有效的防護；該方法降低了制備成本，不采用昂貴惰性氣體，也無需進(jìn)行高溫處理；本發(fā)明中磁控濺射溫度低，適用于多種金屬材料，而不降低工件性能。