負性光刻膠生產(chǎn)用膠液循環(huán)過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022581402.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214319361U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214319361U 申請公布日 2021-10-01
分類號 B01D33/11（2006.01）I;B01D33/74（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 張策 申請（專利權）人 瑞紅（蘇州）電子化學品股份有限公司
代理機構 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 董成
地址 215124江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)民豐路501號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及光刻膠生產(chǎn)技術領域，且公開了負性光刻膠生產(chǎn)用膠液循環(huán)過濾裝置，包括外罐，所述外罐的內(nèi)部活動套接有內(nèi)罐，所述內(nèi)罐的中部固定安裝有主軸，所述主軸的外側面固定套接有螺旋葉片，所述螺旋葉片的外側面與內(nèi)罐的內(nèi)側面固定連接。該負性光刻膠生產(chǎn)用膠液循環(huán)過濾裝置，通過在外罐的內(nèi)部活動套接有內(nèi)罐，并在內(nèi)罐的中部固定安裝有主軸，以及主軸外側面的螺旋葉片，并在螺旋葉片上開設有篩孔，當光刻膠從進料罐底端的進料口進入內(nèi)罐時，此時光刻膠即會落入螺旋葉片的上方，而此時由于螺旋葉片為螺旋形而非平行設計其可增加與光刻膠的接觸面積以及接觸時間可對光刻膠進行充分過濾，實現(xiàn)了可防止過濾不充分的優(yōu)點。