三氯氫硅合成尾氣的回收裝置及其回收方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410534538.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN104310406B 公開（公告）日 2016-06-22
申請公布號(hào) CN104310406B 申請公布日 2016-06-22
分類號(hào) C01B33/107(2006.01)I;B01D50/00(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 沈海峰;劉松 申請（專利權(quán)）人 江西賽維LDK太陽能多晶硅有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 江西賽維LDK太陽能多晶硅有限公司
地址 338000 江西省新余市高新經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)賽維工業(yè)園專利辦公室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種三氯氫硅合成尾氣的回收裝置，包括依次管道連接的除塵器、緩沖罐、壓縮機(jī)、冷卻器、加熱器、反應(yīng)器、存渣罐及回收罐，三氯氫硅合成尾氣經(jīng)過除塵器進(jìn)行除塵后得到三氯氫硅混合氣體后進(jìn)入緩沖罐緩沖壓力，進(jìn)入壓縮機(jī)加壓后進(jìn)入冷卻器，得到氯硅烷液體和氫氣混合氣體，氫氣混合氣體進(jìn)入加熱器中加熱后進(jìn)入反應(yīng)器中反應(yīng)得到三氯氫硅混合物，進(jìn)入存渣罐中雜質(zhì)沉淀后進(jìn)入回收罐中回收。本發(fā)明提供的三氯氫硅合成尾氣的回收裝置通過設(shè)置冷卻器及反應(yīng)器，將三氯氫硅合成尾氣中的氯硅烷成分及氫氣混合氣體通過冷卻分離，通入反應(yīng)器中進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)得到三氯氫硅，使得三氯氫硅合成尾氣作為原料能夠再次用于工藝生產(chǎn)，節(jié)約能源，減少生產(chǎn)成本且保護(hù)環(huán)境。