一種薄膜晶體管及其制造方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201410346471.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN104134613B | 公開(公告)日 | 2018-12-11 |
申請公布號 | CN104134613B | 申請公布日 | 2018-12-11 |
分類號 | H01L21/336;H01L29/786 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 高金字;呂雅茹;鍾享顯;陸文正 | 申請(專利權(quán))人 | 福州華映視訊有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 福州君誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 福州華映視訊有限公司;中華映管股份有限公司 |
地址 | 350000 福建省福州市馬尾區(qū)科技園區(qū)興業(yè)路1號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種制造薄膜晶體管的方法,包含下列步驟:形成閘極于基板上;形成閘極絕緣層于閘極上;形成圖案化半導(dǎo)體層于閘極絕緣層上;形成源極于圖案化半導(dǎo)體層上;氧化源極的外圍部份以形成氧化層,其中氧化層覆蓋源極及部分的圖案化半導(dǎo)體層;形成保護(hù)層與氫離子,其中保護(hù)層覆蓋氧化層與圖案化半導(dǎo)體層;以及以氫離子摻雜未被氧化層覆蓋的圖案化半導(dǎo)體層,以形成汲極。本發(fā)明亦提供一種薄膜晶體管。 |
