一種三瓣石墨坩堝單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010504404.6 申請日 -
公開（公告）號 CN102115909A 公開（公告）日 2011-07-06
申請公布號 CN102115909A 申請公布日 2011-07-06
分類號 C30B15/10(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 鐘小平 申請（專利權）人 浙江舒奇蒙能源科技有限公司
代理機構 杭州杭誠專利事務所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 311227 浙江省杭州市蕭山區(qū)南陽經(jīng)濟開發(fā)區(qū)浙江舒奇蒙能源科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型三瓣石墨坩堝單晶爐，包括爐殼、保溫層、石英坩堝、石墨坩堝、加熱器和保溫桶，石墨坩堝的里面設置石英坩堝，石墨坩堝的外面設置加熱器，加熱器的外面設置保溫層，所述石墨坩堝三瓣側壁間拼縫與徑向成40度-45度斜角。解決了現(xiàn)有石墨坩堝之間的拼縫是徑向的，這樣的拼縫不嚴密時，拼縫間隙處熱輻射容易射入，直接給石英坩堝加熱，坩堝內(nèi)受熱不均勻，造成單晶旋轉性缺陷，影響晶體品質的問題。