一種新型三瓣石墨坩堝單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020558035.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201801634U 公開(kāi)（公告）日 2011-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN201801634U 申請(qǐng)公布日 2011-04-20
分類號(hào) C30B15/10(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 鐘小平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江舒奇蒙能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 311227 浙江省杭州市蕭山區(qū)南陽(yáng)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)浙江舒奇蒙能源科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型三瓣石墨坩堝單晶爐，包括爐殼、保溫層、石英坩堝、石墨坩堝、加熱器和保溫桶，石墨坩堝的里面設(shè)置石英坩堝，石墨坩堝的外面設(shè)置加熱器，加熱器的外面設(shè)置保溫層，所述石墨坩堝三瓣側(cè)壁間拼縫與徑向成40度-45度斜角。解決了現(xiàn)有石墨坩堝之間的拼縫是徑向的，這樣的拼縫不嚴(yán)密時(shí)，拼縫間隙處熱輻射容易射入，直接給石英坩堝加熱，坩堝內(nèi)受熱不均勻，造成單晶旋轉(zhuǎn)性缺陷，影響晶體品質(zhì)的問(wèn)題。