一種芯片生產(chǎn)用離子植入設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810917954.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109148248B | 公開（公告）日 | 2019-01-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109148248B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-04 |
| 分類號(hào) | H01J37/317(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王娟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇華芯智造半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫嘉馳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 唐維鐵 |
| 地址 | 221200江蘇省徐州市睢寧縣雙溝鎮(zhèn)臨空大道1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種芯片生產(chǎn)用離子植入設(shè)備，包括箱體，所述箱體內(nèi)左側(cè)底部固定設(shè)有離子源，所述離子源上方設(shè)有離子萃取裝置，所述離子萃取裝置包括四塊入射板；所述離子萃取器上方設(shè)有第一加速器，所述第一加速器上方設(shè)有質(zhì)量分析器，所述右側(cè)開口右側(cè)設(shè)有第二加速器；所述第二加速器右側(cè)設(shè)有聚焦透鏡，所述聚焦透鏡右側(cè)設(shè)有靜電夾盤；所述箱體前側(cè)壁外側(cè)固定設(shè)有主控裝置，所述主控裝置內(nèi)部嵌設(shè)有智能控制芯片。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，有效提高了燈絲的壽命，加強(qiáng)了偏離離子的吸收，并且使離子植入更加均勻而全面；通過智能控制板能夠向智能控制芯片輸入預(yù)訂程序，并且通過顯示板能夠查看各類重要參數(shù)，有效提高設(shè)備的智能性、準(zhǔn)確性與可操作性。?? |
