一種芯片生產(chǎn)用離子植入設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810917954.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109148248A 公開（公告）日 2019-01-04
申請公布號 CN109148248A 申請公布日 2019-01-04
分類號 H01J37/317;H01J37/244 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王娟 申請（專利權(quán)）人 江蘇華芯智造半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 236000 安徽省阜陽市太和縣城關(guān)鎮(zhèn)譚街41號1戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種芯片生產(chǎn)用離子植入設(shè)備，包括箱體，所述箱體內(nèi)左側(cè)底部固定設(shè)有離子源，所述離子源上方設(shè)有離子萃取裝置，所述離子萃取裝置包括四塊入射板；所述離子萃取器上方設(shè)有第一加速器，所述第一加速器上方設(shè)有質(zhì)量分析器，所述右側(cè)開口右側(cè)設(shè)有第二加速器；所述第二加速器右側(cè)設(shè)有聚焦透鏡，所述聚焦透鏡右側(cè)設(shè)有靜電夾盤；所述箱體前側(cè)壁外側(cè)固定設(shè)有主控裝置，所述主控裝置內(nèi)部嵌設(shè)有智能控制芯片。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，有效提高了燈絲的壽命，加強了偏離離子的吸收，并且使離子植入更加均勻而全面；通過智能控制板能夠向智能控制芯片輸入預(yù)訂程序，并且通過顯示板能夠查看各類重要參數(shù)，有效提高設(shè)備的智能性、準(zhǔn)確性與可操作性。