一種利用超音速火焰噴涂技術制備耐腐絕緣掩膜版的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010299903.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111534781B 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN111534781B 申請公布日 2021-09-24
分類號 C23C4/129;C23C4/04;C23C14/04 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 錢超;余洋 申請（專利權）人 南京深光科技有限公司
代理機構 南京天華專利代理有限責任公司 代理人 徐冬濤;競存
地址 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)燕湖路189號（江寧開發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種利用超音速火焰噴涂技術制備耐腐絕緣掩膜版的方法，將掩膜版置于無水乙醇中超聲震蕩清洗20?30min后烘干，用超音速火焰噴涂設備將復合粉體對掩膜版表面進行噴涂，在掩膜版表面沉積一層耐腐絕緣層，超音速火焰噴涂采用壓縮空氣?丙烷火焰，超音速火焰噴涂的工藝參數為：壓縮空氣總壓力0.8?1.2MPa，丙烷壓力0.1?0.2MPa，噴涂送料速度50?100g/min，噴涂距離160?200mm，噴涂角度為45?90°，超音速火焰噴涂后的掩膜版于50?80℃下熱烘1?5h，再自然冷卻至室溫即可，利用本發(fā)明方法處理后的掩膜版具有優(yōu)良的絕緣和耐腐蝕性能，經過處理，可以有效延長掩膜版的使用壽命，降低OLED顯示屏幕生產中的成本。