一種利用超音速火焰噴涂技術(shù)制備耐腐絕緣掩膜版的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010299903.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111534781A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111534781A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | C23C4/129;C23C4/04;C23C14/04 | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 錢(qián)超;余洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京深光科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 徐冬濤;競(jìng)存 |
| 地址 | 211100 江蘇省南京市江寧區(qū)燕湖路189號(hào)（江寧開(kāi)發(fā)區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種利用超音速火焰噴涂技術(shù)制備耐腐絕緣掩膜版的方法，將掩膜版置于無(wú)水乙醇中超聲震蕩清洗20?30min后烘干，用超音速火焰噴涂設(shè)備將復(fù)合粉體對(duì)掩膜版表面進(jìn)行噴涂，在掩膜版表面沉積一層耐腐絕緣層，超音速火焰噴涂采用壓縮空氣?丙烷火焰，超音速火焰噴涂的工藝參數(shù)為：壓縮空氣總壓力0.8?1.2MPa，丙烷壓力0.1?0.2MPa，噴涂送料速度50?100g/min，噴涂距離160?200mm，噴涂角度為45?90°，超音速火焰噴涂后的掩膜版于50?80℃下熱烘1?5h，再自然冷卻至室溫即可，利用本發(fā)明方法處理后的掩膜版具有優(yōu)良的絕緣和耐腐蝕性能，經(jīng)過(guò)處理，可以有效延長(zhǎng)掩膜版的使用壽命，降低OLED顯示屏幕生產(chǎn)中的成本。 |
