一種基于光子激勵(lì)的光波導(dǎo)導(dǎo)波特性改善方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910199281.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101762844A 公開（公告）日 2010-06-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN101762844A 申請(qǐng)公布日 2010-06-30
分類號(hào) G02B6/10(2006.01)I;H04B10/12(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳抱雪;簡平榮;周依群;周建忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海美弗信光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 翁若瑩
地址 200233 上海市徐匯區(qū)虹漕路421號(hào)65幢4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基于光子激勵(lì)的光波導(dǎo)導(dǎo)波特性改善方法，其特征在于，步驟為：采用紫外光由石英光波導(dǎo)的上包層的上表面垂直入射輻照石英光波導(dǎo)，在室溫中放置后，再用紫外光和紅外光分別從上包層的上表面垂直及側(cè)面入射，隨后在室溫中放置。本發(fā)明在用現(xiàn)行光波導(dǎo)制造技術(shù)制備完成的石英光波導(dǎo)芯片上實(shí)施，是對(duì)現(xiàn)行石英光波導(dǎo)制造技術(shù)的一種后續(xù)工藝發(fā)展，其優(yōu)點(diǎn)是：可明顯改善石英光波導(dǎo)光學(xué)特性。