一種電子束輻照增強裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110144628.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114284124A 公開（公告）日 2022-04-05
申請公布號 CN114284124A 申請公布日 2022-04-05
分類號 H01J37/065（2006.01）I;H01J37/09（2006.01）I;H01J37/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐志宏;谷勝棟 申請（專利權(quán)）人 湖州超群電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海云滬專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭義紅
地址 313000浙江省湖州市紅豐路1366號5幢1206-11
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電子束輻照增強裝置，包括電子束源和樣品，所述樣品位于電子束源的下方，所述電子束源包括固定殼，且固定殼的頂部外壁開設(shè)有第一固定孔，所述第一固定孔的內(nèi)壁設(shè)置有陰極，所述固定殼的底端外壁開設(shè)有第二固定孔，且第二固定孔的內(nèi)壁設(shè)置有陽極。本發(fā)明通過設(shè)置有直線型電子傳輸通道、直線型屏蔽罩、電場、第一電極、第二電極、波浪型電子傳輸通道和波浪型屏蔽罩，通過上述部件之間的一個或者多個組合使用能夠以通過改變電子的傳輸方向和增加電子的產(chǎn)額來提高對樣品的轟擊效果，相對于現(xiàn)有技術(shù)來說，顯著提高電子利用效率，使產(chǎn)生的電子物盡其用，操作簡單，成本較低，減少了電子的浪費。