一種基于LED陣列的數(shù)字投影無掩模曝光裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011003373.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112083632A 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN112083632A 申請公布日 2020-12-15
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 陳乃奇 申請（專利權(quán)）人 深圳市先地圖像科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市友邦專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳市先地圖像科技有限公司
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)航城街道三圍社區(qū)航空路西灣智園A3棟1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及無掩膜光學制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種基于LED陣列的數(shù)字投影無掩模曝光裝置及方法，所述基于LED陣列的數(shù)字投影無掩模曝光裝置包括：LED陣列，其包括驅(qū)動器和發(fā)光二極管，多個所述發(fā)光二極管陣列形成LED陣列，所述驅(qū)動器分別控制每個發(fā)光二極管；光學組件，其使LED陣列的出射光聚焦于成像面，實現(xiàn)對成像面上感光材料表面的曝光，并形成圖像。本發(fā)明的有益效果是：一個LED陣列共用一個光學組件，具有更高的投影像素密度，更均勻的圖像質(zhì)量，以及極低的像素成本；LED陣列具有自發(fā)光特性，無需外部光源，并消除了反射部件，因此光路簡單，光能量利用率更高。??