一種離子注入機(jī)的質(zhì)量分析器清理機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021118839.2 申請日 -
公開(公告)號 CN212209417U 公開(公告)日 2020-12-22
申請公布號 CN212209417U 申請公布日 2020-12-22
分類號 H01J37/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王作義;馬洪文;魏關(guān)成;高萬智;楊虎;陳小鐸 申請(專利權(quán))人 廣奕電子科技(寧波)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京衛(wèi)智暢科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳佳
地址 315336浙江省寧波市杭州灣新區(qū)興慈一路290號2號樓203-10室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種離子注入機(jī)的質(zhì)量分析器清理機(jī)構(gòu),包括底座,所述底座的頂部固定連接有扇形均勻場磁鐵本體,所述底座的右側(cè)設(shè)置有動力機(jī)構(gòu),所述動力機(jī)構(gòu)包括粘合在扇形均勻場磁鐵本體底部的空心管,所述空心管的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動柱。本實(shí)用新型通過動力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動,在轉(zhuǎn)動板和殼體的配合使用下,使得三角刮板和毛刷對扇形均勻場磁鐵本體表面所吸附的雜質(zhì)進(jìn)行刮動,即可達(dá)到自動清理和清理效果好的目的,解決了在實(shí)際的使用過程中,由于扇形均勻場磁鐵的磁性,其表面常會吸附有大量的灰塵雜質(zhì),若不對其表面的灰塵雜質(zhì)進(jìn)行及時清理,將會影響質(zhì)量分析器的使用,繼而影響離子注入機(jī)正常使用的問題。??